高純氣體通常指用提純技術能達到的等級純度的氣體。
高純氣體分為有機高純氣體和無機高純氣體。常用的高純氣體包括高純氮、高純氦、高純氬、高純氫、高純氧、高純二氧化碳、高純甲烷、高純一氧化碳、高純乙炔等。
高純氣體技術參數
氣體名稱 | 化學式 | 規格(%) | 雜質(??) |
高純氦 | He | 99.999% | O2≤1 CH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤3 |
Ar | 99.999% | O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4 | |
H2 | 99.999% | O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1 | |
高純氮氣 | N2 | 99.999% | O2≤1 H2O≤2 H2≤1 THC≤3 |
高純二氧化碳 | CO2 | 99.999% | O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 THC≤1 |
